ఓం ఆత్మ శ్రీ మహా ఆత్మ ఓం నమః శివాయ నమః

ఓం ఆత్మ శ్రీ మహా ఆత్మ ఓం నమః శివాయ నమః

కర్మాత్మ కర్తాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
దైవాత్మ దేహాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఆరాత్మ విశ్వాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
జీవాత్మ ఆత్మాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఆధ్యాత్మ విధాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
మాతాత్మ మహాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
దివ్యాత్మ విద్యాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
కార్యాత్మ క్రియాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
శ్రీదేవాత్మ శ్రీధాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ధర్మాత్మ ధాన్యాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సర్వాత్మ శాంతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
రూపాత్మ ఆకారాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ధ్యానాత్మ ధ్యాసాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
జనతాత్మ జననాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః 
పూర్వాత్మ ప్రాణాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
కమలాత్మ పుష్పాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
జీవనాత్మ జీవితాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ప్రకృతాత్మ జగతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
శ్రీకరాత్మ శుభకరాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
విజ్ఞానాత్మ ప్రజ్ఞానాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ప్రజ్ఞానాత్మ ప్రసిద్ధాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
కళ్యాణాత్మ శోభానాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సౌభాగ్యాత్మ సౌఖ్యాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఉత్తేజాత్మ ఉన్నతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
పవిత్రాత్మ పరిశుద్ధాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఆరోగ్యాత్మ ఆరాధ్యాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
కైలాసాత్మ వైకుంఠాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ప్రతేజాత్మ ప్రజ్వలాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
శ్రీనందాత్మ శ్రీకృపాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సుపుత్రాత్మ సుధీర్ఘాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సువర్ణాత్మ సుగంధాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సుతత్వాత్మ సువేదాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సుచిత్రాత్మ సుకృతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఓంకారాత్మ భావకారాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
అనంతాత్మ ఆనందాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
శ్రీకరుణాత్మ శ్రీదయాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఆధ్యంతాత్మ అద్వైతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ప్రశాంతాత్మ పరిపూర్ణాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సంభోగాత్మ సంయోగాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సుందరాత్మ సునందాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
మంగళాత్మ మాంగల్యాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
తన్మయాత్మ తపస్వితాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సుదర్శనాత్మ సునేత్రాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
పరమాత్మ పంచభూతాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సులోచనాత్మ సుభావనాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
ఉషోదయాత్మ భాష్పోదయాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః
సూర్యోదయాత్మ మహోదయాత్మ ఓం నమః శివాయ నమః